微型导轨的精度和稳定性对于机器的准确执行任务至关重要，其精确度通常用微米或毫米来衡量。其尺寸可以做到非常小，常运用在小型设备上，尤其是在IC制造设备中，其应用非常广泛。在IC制造设备中主要用于半导体芯片的切割、封...